Keng miqyosli integral mikrosxemalarning uzluksiz rivojlanishi bilan chiplarni ishlab chiqarish jarayoni tobora murakkablashib bormoqda va yarimo'tkazgich materiallarining g'ayritabiiy mikro tuzilishi va tarkibi chip rentabelligini yaxshilashga to'sqinlik qilmoqda, bu esa yangi yarimo'tkazgich va integral mikrosxemalar texnologiyalarini joriy etishda katta qiyinchiliklarga olib keladi.
GRGTEST mijozlarga yarimo'tkazgich va integral mikrosxemalar jarayonlarini yaxshilashga yordam berish uchun yarim o'tkazgich materialining mikro tuzilishini har tomonlama tahlil qilish va baholashni taqdim etadi, shu jumladan gofret darajasi profilini va elektron tahlilni tayyorlash, yarim o'tkazgich ishlab chiqarish bilan bog'liq materiallarning fizik va kimyoviy xususiyatlarini har tomonlama tahlil qilish, yarim o'tkazgich materiallarini ifloslantiruvchi tahlil dasturini shakllantirish va amalga oshirish.
Yarimo'tkazgichlar, organik kichik molekulali materiallar, polimer materiallar, organik / noorganik gibrid materiallar, noorganik metall bo'lmagan materiallar
1. Yo'naltirilgan ion nurlari texnologiyasi (DB-FIB), chipning mahalliy maydonini aniq kesish va real vaqtda elektron ko'rishga asoslangan chipli gofret darajasi profilini tayyorlash va elektron tahlil qilish, chip profilining tuzilishi, tarkibi va boshqa muhim jarayon ma'lumotlarini olishi mumkin;
2. Yarimo'tkazgichli ishlab chiqarish materiallarining fizik-kimyoviy xususiyatlarini, shu jumladan organik polimer materiallarni, kichik molekulali materiallarni, noorganik metall bo'lmagan materiallar tarkibini tahlil qilishni, molekulyar strukturani tahlil qilishni va boshqalarni kompleks tahlil qilish;
3. Yarimo'tkazgichli materiallar uchun ifloslantiruvchi moddalarni tahlil qilish rejasini shakllantirish va amalga oshirish. Bu mijozlarga ifloslantiruvchi moddalarning fizik va kimyoviy xususiyatlarini to'liq tushunishga yordam beradi, jumladan: kimyoviy tarkib tahlili, tarkibiy qismlarni tahlil qilish, molekulyar tuzilish tahlili va boshqa fizik va kimyoviy xususiyatlar tahlili.
Xizmatturi | Xizmatbuyumlar |
Yarimo'tkazgichli materiallarning elementar tarkibi tahlili | l EDS elementar tahlili, l X-nurli fotoelektron spektroskopiya (XPS) elementar tahlili |
Yarimo'tkazgichli materiallarning molekulyar tuzilishi tahlili | l FT-IR infraqizil spektr tahlili, l rentgen nurlari diffraktsiyasi (XRD) spektroskopik tahlili, l Yadro magnit-rezonans pop tahlili (H1NMR, C13NMR) |
Yarimo'tkazgichli materiallarning mikro tuzilishi tahlili | l Ikki tomonlama yo'naltirilgan ion nurlari (DBFIB) tilim tahlili, l Mikroskopik morfologiyani o'lchash va kuzatish uchun maydon emissiyasini skanerlash elektron mikroskopiyasi (FESEM) ishlatilgan, l Sirt morfologiyasini kuzatish uchun atom kuchi mikroskopiyasi (AFM). |